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磁控溅射所用的靶材用哪些类型,形状,溅射对靶材有哪些性能要求

[ 发布日期:2018-03-14 10:03:56 点击:1049 【打印此文】 【关闭窗口】]

1。靶材短路后靶材成了负载,瞬间就会产生巨大的热量。由于纯铝的熔点很低,只有660摄氏度,不但在外力的作用下靶材变形,局部还会达到熔点,形成溶洞;

2.即便靶材不短路,如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形;

3.磁控溅射镀膜电源保护性功能差,超载后不能及时自动停止工作。


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